光刻機(jī)是是制造芯片的核心裝備，泰睿思是國(guó)內(nèi)專注長(zhǎng)期專注于集成電路封裝與測(cè)試業(yè)務(wù)的半導(dǎo)體公司。業(yè)界通常把集成電路/芯片的制造稱為前道工藝，封裝稱為后道工藝，所以制造芯片用光刻機(jī)也被稱為前道光刻機(jī)，封裝用光刻機(jī)則被稱為后道光刻機(jī)。
光刻機(jī)采用氮?dú)庑?zhǔn)方法則是緩慢向晶圓表面通入氮?dú)?，運(yùn)用伯努利方程，分析測(cè)量點(diǎn)與氮?dú)馊肟趬翰罘治霰砻嫘蚊病?/span>
“光刻機(jī)里有一個(gè)激光腔，激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長(zhǎng)和能量的激光。"“光刻機(jī)再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級(jí)的特定的電路圖案。"
光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品，一般一種光刻氣中會(huì)含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋，在光刻機(jī)制造過(guò)程中，需要用激光來(lái)加工芯片表面，讓激光波長(zhǎng)和能量長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定，如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn)，就會(huì)導(dǎo)致激光能量時(shí)高時(shí)低或不持續(xù)，“這必然影響光刻效果。
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